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Hochwertige Sputtertargets aus multikristallinem Silicium in Standardgrößen (INCH) direkt vom Hersteller. Wir fertigen Standardsputtertargets in allen gängigen INCH-Größen aus hochwertigem multikristallinem Silicium gemäß unten genannter Spezifikation. Zudem besteht die Möglichkeit der Umsetzung von Sonderwünschen im Bezug auf Material und Bearbeitung (z.B. Fasen). Wir freuen uns auf Ihre Anfrage. a) Material: Silicium, multikristallin b) Reinheit: mind. 5N (99,999 %) c) Leitungstyp/ Dotierung: p-leitend/ Bor-dotiert (weitere auf Anfrage) d) spez. Widerstand: ca. 0,01 Ωcm / ca. 1 Ωcm e) Durchmesser: 1" / 2" / 3" / 4" / 6" f) Dicke: 1/8" / 1/4" g) Toleranzen: nach DIN ISO 2768 mk oder Vorgabe h) Oberflächengüte (Ra): < 1 µm (geschliffen) i) Prüfbescheinigung/ Analyse: nach DIN EN 10204 auf Anfrage